第290章两个消息 (第3/3页)
光相比，其特点是将聚焦电子束代替光照以实现抗蚀剂的曝光。根据两家公司给出的一些技术参数，第一代的电子束光刻机能够对应普通光刻机大概5n
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光相比，其特点是将聚焦电子束代替光照以实现抗蚀剂的曝光。根据两家公司给出的一些技术参数，第一代的电子束光刻机能够对应普通光刻机大概5n
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